歐盟納米壓印光刻技術(shù)實(shí)現(xiàn)低成本批量生產(chǎn)感應(yīng)薄膜

日期:2014-12-17 11:22 點(diǎn)擊數(shù):4098 來源:國家科技部共有條評論

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納米結(jié)構(gòu)傳感器陣列（NSA），以其在單一檢測裝置有效檢測樣品中分子或分子一部分的大面積多參數(shù)傳感優(yōu)勢，而在制藥業(yè)、環(huán)保等其它行業(yè)得到廣泛應(yīng)用。但直到目前，其實(shí)驗(yàn)室規(guī)模小批量生產(chǎn)導(dǎo)致相對較高的制造成本，一定程度上限制了新興技術(shù)在更大范圍內(nèi)的商業(yè)化推廣應(yīng)用。歐盟第七研發(fā)框架計劃（FP7）提供490萬歐元資助，總研發(fā)投入690萬歐元，由歐盟6個成員國及聯(lián)系國芬蘭（總協(xié)調(diào)）、英國、德國、荷蘭、奧地利和瑞士，9家企業(yè)聯(lián)合科技界組成的歐洲PHOTOSENS研發(fā)團(tuán)隊。從2011年2月開始，致力于NSA低成本大規(guī)模工業(yè)化制造的關(guān)鍵技術(shù)與生產(chǎn)工藝突破，利用最先進(jìn)的納米壓印光刻（Nanoimprint Lithography）技術(shù)，整合卷到卷（R2R）生產(chǎn)制造工藝，實(shí)現(xiàn)了低成本大批量制造生產(chǎn)大面積NSA的工業(yè)流程設(shè)計和設(shè)備樣機(jī)開發(fā)，奠定了NSA進(jìn)一步商業(yè)化推廣應(yīng)用的基礎(chǔ)。
PHOTOSENS研發(fā)團(tuán)隊，整合納米壓印光刻技術(shù)、基底納米功能沖壓工藝和R2R生產(chǎn)工藝流程，為規(guī)?；圃旒{米結(jié)構(gòu)裝置和大面積光子結(jié)晶化合物感應(yīng)薄膜，開起了嶄新路徑。研發(fā)團(tuán)隊已成功開發(fā)出3種不同類型的全聚合物多參數(shù)感應(yīng)裝置生產(chǎn)制造工藝及設(shè)備樣機(jī)。例如，應(yīng)用于環(huán)保行業(yè)檢測空氣質(zhì)量的甲醛（Formaldehyde）光子結(jié)晶感應(yīng)裝置；應(yīng)用于制藥和食品安全行業(yè)檢測布洛芬（Ibuprofen）化合物成分的感應(yīng)裝置；和應(yīng)用于多行業(yè)的靈活嵌入式一次性多參數(shù)芯片檢測裝置。
目前，研發(fā)團(tuán)隊主要聚焦于基于3D打印技術(shù)的單模波導(dǎo)感應(yīng)檢測裝置的生產(chǎn)制造工藝開發(fā)，正在進(jìn)行工藝流程驗(yàn)證和結(jié)構(gòu)優(yōu)化。研發(fā)團(tuán)隊已申請數(shù)10項(xiàng)發(fā)明專利和在國際著名學(xué)術(shù)刊物上發(fā)表9篇高質(zhì)量論文。

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